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      首發(fā)快訊
      
        
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            晶瑞電材：目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作在有序開展中
        
        
        
        
        
          
            
          
          
            2023-05-08 20:38:14
          
        
        

        
        

        
        
        

      
        
      


      
      
        
        

        

        
        
        每經(jīng)AI快訊，5月8日，晶瑞電材在投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表中稱，公司i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等國內(nèi)的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨；KrF光刻膠生產(chǎn)及測試線已經(jīng)建成，且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產(chǎn)，今年將發(fā)力拓展新客戶；公司于2020年啟動(dòng)了集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，并于2020年下半年購買了ASML1900 Gi型光刻機(jī)及配套設(shè)備，目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作在有序開展中。
        

        


        
      
        
    
        


    
    
        
      
           責(zé)編  王瀚黎
      
    
        

    

    
        
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