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            中微公司發(fā)布首款晶圓邊緣刻蝕設(shè)備Primo Halona?
        
        
        
        
        
          
            每日經(jīng)濟(jì)新聞
          
          
            2025-03-27 10:17:53
          
        
        

        
        

        
        
        

      
        
      


      
      
        
        



        

        
        
        每經(jīng)AI快訊，在SEMICON China 2025展會期間，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，股票代碼“688012.SH”）宣布其自主研發(fā)的12英寸晶圓邊緣刻蝕設(shè)備Primo Halona™正式發(fā)布。中微公司此款刻蝕設(shè)備的問世，實現(xiàn)了在等離子體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的又一次突破創(chuàng)新，標(biāo)志著公司向關(guān)鍵工藝全面覆蓋的目標(biāo)再進(jìn)一步，也為公司的高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動能。
        

        

        


        
      
        
    
        


    
    
        
      
      
    
        

    
      
        

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